膜厚分佈量測裝置 - FiDiCa
scroll膜厚分布400萬點同時量測、繪製分佈圖! 新膜厚分佈量測裝置
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全面
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分佈
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高速
透過整行掃描,高速、高精度地繪製膜厚分佈圖。
透過前所未有獨特的平面膜厚分佈量測裝置,實現產品開發的加速以及提高成品率和品質。
與一般膜厚量測装置的不同 壓倒性的量測點位數量與量測速度!
【一般】偏光解析法 / 分光干渉膜厚計
量測點數: 1萬點
量測時間: 數小時
掃描方向: XY(2軸)
膜厚分佈量測装置 FiDiCa ®
量測點數: 400萬點
量測時間: 90秒
掃描方向: 1軸
[特長] 高速、高精度的繪製半導體以及薄膜、液膜的膜厚厚度分佈
可完成100nm-100μm的大範圍膜厚的量測
利用分光干涉實現高精度量測
採用獨家的運算方法,在幾分鐘內快速計算400萬筆量測資料
從離線的桌面設備到連機設備都可以訂製
[主要用途] 薄膜量測範圍: 50nm-20μm// 厚膜量測範圍: 1μm-100μm
- 薄膜
- 玻璃
- 半導體晶圓
- 電子設備
- 液體膜(水膜、油膜)
- 金屬膜
- ETC.
◤200mm晶圓量測裝置的範例◢
SPEC | 備註 | |
載台尺寸 | 200mm×200mm | 8吋 |
量測層數 | 1層 | 最多可對應到3層(option) |
空間解析度 | 約100μm | |
量測薄膜範圍※ | 50nm~20μm | 薄膜用分光器 |
量測厚膜範圍※ | 1μm~100μm | 厚膜用分光器 |
量測再現性 | 3σ<1.0nm | 同一點重複量測的標準偏差 |
掃描時間 | 約1分鐘 | 2000×2000點量測 |
膜厚計算時間 | 約2分鐘 | |
適用於 | 石英震盪器、表面聲波濾波器(SAW filter)、圖像感光元件... |
※根據不同材質與條件變動
◤在線式捲狀物料量測範例◢
SPEC | 備註 | |
量測物幅寬 | 2000mm | |
量測層數 | 1層 | 最多可對應到3層(option) |
空間解析度 | 約1mm | |
量測厚膜範圍※ | 1μm~100μm | 厚膜用分光器 |
量測再現性 | 3σ<1.0nm | 同一點重複量測的標準偏差 |
量測時間 | 10 Line/ 秒 | 量測+計算 |
適用於 | PET膜、相位差膜、保護膜... |
※根據不同材質與條件變動
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