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膜厚分佈量測裝置 - FiDiCa

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膜厚分布400萬點同時量測、繪製分佈圖! 新膜厚分佈量測裝置

  1. POINT

    全面

  2. POINT

    分佈

  3. POINT

    高速

透過整行掃描，高速、高精度地繪製膜厚分佈圖。
透過前所未有獨特的平面膜厚分佈量測裝置，實現產品開發的加速以及提高成品率和品質。

與一般膜厚量測装置的不同 壓倒性的量測點位數量與量測速度！

【一般】偏光解析法 / 分光干渉膜厚計

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量測點數: 1萬點
量測時間: 數小時
掃描方向: XY(2軸)

膜厚分佈量測装置 FiDiCa ®

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量測點數: 400萬點
量測時間: 90秒
掃描方向: 1軸

[特長] 高速、高精度的繪製半導體以及薄膜、液膜的膜厚厚度分佈

  • 可完成100nm-100μm的大範圍膜厚的量測

  • 利用分光干涉實現高精度量測

  • 採用獨家的運算方法，在幾分鐘內快速計算400萬筆量測資料

  • 從離線的桌面設備到連機設備都可以訂製

[主要用途] 薄膜量測範圍: 50nm-20μm// 厚膜量測範圍: 1μm-100μm

  • 薄膜
  • 玻璃
  • 半導體晶圓
  • 電子設備
  • 液體膜(水膜、油膜)
  • 金屬膜
  • ETC.

各種材質量測範例

特點為非接觸式、整面膜厚分布量測

矽晶圓聚碳酸脂siPC

◤200mm晶圓量測裝置的範例◢

   SPEC  備註
 載台尺寸  200mm×200mm  8吋
 量測層數  1層  最多可對應到3層(option)
 空間解析度  約100μm
 量測薄膜範圍※  50nm~20μm  薄膜用分光器
 量測厚膜範圍※  1μm~100μm  厚膜用分光器
 量測再現性  3σ<1.0nm  同一點重複量測的標準偏差
 掃描時間  約1分鐘  2000×2000點量測
 膜厚計算時間  約2分鐘
 適用於  石英震盪器、表面聲波濾波器(SAW filter)、圖像感光元件...

※根據不同材質與條件變動

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◤在線式捲狀物料量測範例◢

   SPEC  備註
 量測物幅寬  2000mm
 量測層數  1層  最多可對應到3層(option)
 空間解析度  約1mm
 量測厚膜範圍※  1μm~100μm  厚膜用分光器
 量測再現性  3σ<1.0nm  同一點重複量測的標準偏差
 量測時間  10 Line/ 秒  量測+計算
 適用於  PET膜、相位差膜、保護膜...

※根據不同材質與條件變動

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